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【應(yīng)用速遞】基于STACIS®的主動壓電隔振系統(tǒng)應(yīng)用案例
更新時間:2020-10-20   點擊次數(shù):1802次
  • 為什么選用主動的隔振控制系統(tǒng)?
  • *的低頻隔振效率。(具體效率請見紅藍(lán)隔振曲線圖)
  • 主動“Hard-Mount”架構(gòu)提供了比被動氣浮隔離器快10倍的穩(wěn)定時間。(黑色穩(wěn)定速度曲線圖)
  • 避免氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風(fēng)險。
  • 可以與任何設(shè)備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊串聯(lián)”。

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  • 通常情況下一套STACIS®隔振系統(tǒng)由34個隔振器加上數(shù)字控制器組成:

每個隔振器有三種負(fù)載能力的版本可供選擇:

 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

對于尺寸較大的平臺系統(tǒng),可以將多個STACIS系統(tǒng)組合為一個操作系統(tǒng)來實現(xiàn)整體的隔振。

STACIS III 通常會配置層壓鋼板平臺和底座支架來調(diào)整適配高度。

 

  • 兩種典型的配置方式:
  • 安裝在混凝土地板上:普通實驗室環(huán)境, 通常可以為需要獲得極低的系統(tǒng)高度時做特殊設(shè)計。
  • 安裝在高架地板上:通常應(yīng)用于潔凈室中。

 

  • 應(yīng)用案例:

附帶Lift hood 的STACIS 2100:應(yīng)用于UHV-STM超高真空掃描隧道顯微鏡

  • 配置3-Mount STACIS系統(tǒng)
  • 有效降低總體高度的left-hood設(shè)計

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