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• 為什么選用主動(dòng)的隔振控制系統(tǒng)？

• *的低頻隔振效率。（具體效率請(qǐng)見(jiàn)紅藍(lán)隔振曲線圖）
• 主動(dòng)“Hard-Mount”架構(gòu)提供了比被動(dòng)氣浮隔離器快10倍的穩(wěn)定時(shí)間。（黑色穩(wěn)定速度曲線圖）
• 避免氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風(fēng)險(xiǎn)。
• 可以與任何設(shè)備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊串聯(lián)”。

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• 通常情況下一套STACIS®隔振系統(tǒng)由3或4個(gè)隔振器加上數(shù)字控制器組成：

每個(gè)隔振器有三種負(fù)載能力的版本可供選擇:

– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)

– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)

– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)

對(duì)于尺寸較大的平臺(tái)系統(tǒng)，可以將多個(gè)STACIS系統(tǒng)組合為一個(gè)操作系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)整體的隔振。

STACIS III 通常會(huì)配置層壓鋼板平臺(tái)和底座支架來(lái)調(diào)整適配高度。

• 兩種典型的配置方式：

• 安裝在混凝土地板上：普通實(shí)驗(yàn)室環(huán)境， 通?？梢詾樾枰@得極低的系統(tǒng)高度時(shí)做特殊設(shè)計(jì)。
• 安裝在高架地板上：通常應(yīng)用于潔凈室中。

• 應(yīng)用案例：

C 附帶Lift hood 的STACIS 2100：應(yīng)用于UHV-STM超高真空掃描隧道顯微鏡

• 配置3-Mount STACIS系統(tǒng)
• 有效降低總體高度的left-hood設(shè)計(jì)

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