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光學隔振平臺

更新時間:2024-10-09

簡要描述:

TMC光學隔振平臺 LaserTable-Base是現(xiàn)有光學平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。

TMC光學隔振平臺 LaserTable-Base

光學隔振平臺

LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。

TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)(空氣和STACIS)整合到一個集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應,這實現(xiàn)了低頻率消振和*的高頻隔振水平。


TMC光學隔振平臺 LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設計,可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架,具體取決于應用要求。

  • 該平臺采用STACIS®技術(shù)

  • 主動慣性消振系統(tǒng)

  • 消振從低于1 Hz開始

  • 加長行程的壓電致動器,高達60微米。

  • 6個主動自由度

  • 由兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成,可實現(xiàn)良好隔振效果

  • 采用MaxDamp®空氣隔振器

  • 簡單、堅固且經(jīng)濟高效

  • 可選的擱板,用于在工作臺下方安裝設備

  • 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器

    LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。

    TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制,可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)(空氣和STACIS)整合到一個集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應,這實現(xiàn)了低頻率消振和*的高頻隔振水平。



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